壓力變送器一般用于測(cè)量液體、氣體或蒸汽的液位、密度和壓力，然后將壓力信號(hào)轉(zhuǎn)變成4～20mA DC信號(hào)輸出，可以分成電容式壓力變送器和擴(kuò)散硅壓力變送器，陶瓷壓力變送器，應(yīng)變式壓力變送器幾種，是工業(yè)設(shè)備中用以控制工業(yè)過程和壓力變化的重要原件。壓力變送器被廣泛應(yīng)用與石油、化工、電力、鋼鐵、輕工等行業(yè)的壓力測(cè)量及現(xiàn)場(chǎng)控制中。
壓力變送器發(fā)展經(jīng)過了發(fā)明，技術(shù)發(fā)展， 商業(yè)化集成加工，微機(jī)械加工階段4個(gè)階段，下文就為您介紹這四個(gè)階段的一些小知識(shí)。
1、發(fā)明階段(1945 - 1960 年)：這個(gè)階段主要是以1947年雙極性晶體管的發(fā)明為標(biāo)志。此后,半導(dǎo)體材料的這一特性得到較廣泛應(yīng)用。
2、技術(shù)發(fā)展階段(1960 - 1970 年)：隨著硅擴(kuò)散技術(shù)的發(fā)展,技術(shù)人員在硅的(001) 或(110) 晶面選擇合適的晶向直接把應(yīng)變電阻擴(kuò)散在晶面上,然后在背面加工成凹形,形成較薄的硅彈性膜片，稱為硅杯。這種形式的硅杯變送器具有體積小、重量輕、靈敏度高、穩(wěn)定性好、成本低、便于集成化的優(yōu)點(diǎn),實(shí)現(xiàn)了金屬- 硅共晶體,為商業(yè)化發(fā)展提供了可能。
3、商業(yè)化集成加工階段(1970 - 1980 年)：在硅杯擴(kuò)散理論的基礎(chǔ)上應(yīng)用了硅的各向異性的腐蝕技術(shù)，擴(kuò)散硅變送器其加工工藝以硅的各項(xiàng)異性腐蝕技術(shù)為主，發(fā)展成為可以自動(dòng)控制硅膜厚度的硅各向異性加工技術(shù)，主要有V 形槽法、濃硼自動(dòng)中止法、陽(yáng)極氧化法自動(dòng)中止法和微機(jī)控制自動(dòng)中止法。由于可以在多個(gè)表面同時(shí)進(jìn)行腐蝕,數(shù)千個(gè)硅壓力膜可以同時(shí)生產(chǎn),實(shí)現(xiàn)了集成化的工廠加工模式,成本進(jìn)一步降低。
4、微機(jī)械加工階段(1980 年- 今)：上世紀(jì)末出現(xiàn)的納米技術(shù),使得微機(jī)械加工工藝成為可能。通過微機(jī)械加工工藝可以由計(jì)算機(jī)控制加工出結(jié)構(gòu)型的壓力變送器,其線度可以控制在微米級(jí)范圍內(nèi)。利用這一技術(shù)可以加工、蝕刻微米級(jí)的溝、條、膜，使得壓力變送器進(jìn)入了微米階段。
以上就是壓力變送器發(fā)展的四個(gè)階段，現(xiàn)如今，壓力變送器已經(jīng)成為工業(yè)設(shè)備中十分重要的一種元件，并將在未來繼續(xù)發(fā)展。上海自動(dòng)化儀表一廠專業(yè)生產(chǎn)各類壓力變送器，有需要的客戶歡迎前來選擇訂購(gòu)！
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